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場發(fā)射掃描電鏡的原理和維護措施

更新時間:2024-09-12      點擊次數(shù):1088
  場發(fā)射掃描電鏡是一種高分辨率的電子顯微鏡,它采用尖端肖特基熱場發(fā)射技術,具有許多優(yōu)勢和廣泛的應用領域,它的工作原理主要包括以下幾個步驟:
 
  1.電子源:使用場發(fā)射電子槍作為電子源,通過強電場使金屬的電子脫離束縛,形成高亮度、高相干性的電子束。
 
  2.電子光學系統(tǒng):電子束經過一系列的電磁透鏡和光闌進行聚焦、偏轉和整形,最終形成一個細小的探針。
 
  3.掃描系統(tǒng):掃描線控制電子東在樣品表面進行逐行掃描,與樣品相互作用產生二次電子、背散射電子等信號。
 
  4.信號檢測與成像:配備多種探測器收集不同種類的信號,并經過放大、處理后生成反映樣品表面形貌、結構和成分信息的圖像。
 
  5.真空系統(tǒng):維持局真空環(huán)境以確保電子東能夠在樣品表面產生足夠的信號,并防止電子槍和樣品受到污染。
 
  為了保證場發(fā)射掃描電鏡的正常運行和延長其使用壽命,需要進行嚴格的日常維護和管理:
 
  1.環(huán)境條件控制:保持電鏡室內的溫度、濕度、排氣、震動、噪聲、磁場和接地等條件穩(wěn)定,避免對電子束產生干擾。
 
  2.光學系統(tǒng)維護:定期檢查和維護電子光學系統(tǒng)的燈絲和光闌,確保其處于良好狀態(tài)。
 
  3.真空系統(tǒng)維護:保持鏡筒和樣品室的高真空度,定期檢查真空泵的工作狀態(tài)并進行維護保養(yǎng)。
 
  4.樣品處理:確保待觀察樣品干燥、無污染物,并選擇合適的制樣方法進行處理。
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